工作时，传感器通入高频电流，线圈周围产生高频磁场，接近探头端部的金属表面在高频磁场的感应下产生感应电涡流，电涡流对其周边产生电涡流磁场，该磁场方向与探头磁场方向相反，两个磁场叠加改变探头线圈的阻抗。探头与被测轴表面间距越小，电涡流越大，探头线圈的阻抗越小，探头线圈两端的电压下降。阻抗在激励电流、频率和材质磁导率不变的条件下，仅与探头端面与金属表面的间隙有关。与探头配套的前置放大器接受探头阻抗信号，并将其放大、转换为所要的电信号。
传感器集成了信号发射器和接收器线圈系统，它们以印刷线圈的形式被地印制在电路板上。发射信号线圈由高频交流磁场激活并与位置块（谐振器）相互感应产生一个RLC的感应电路。因此，谐振器与接收线圈形成电感式耦合。在布有接收信号线圈的位置，电压的变化由谐振器与线圈的感应而引起。
如果直线位移传感器的电子尺在作业的进程傍边，在某一点的闪现数据有规矩地跳动，或许是没有闪现数据的时分，出现这种情况就需要检查联接线绝缘是不是出现破损的表象，并且跟机器的外壳很有规矩地接触而致使的对地短路。
设备直线位移传感器的对中性需要，可是平行度可以容许有±0.5mm的过失，角度可以容许有±12°的过失。可是如果平行度过失和角度过失都是偏大的话，这样会出现闪现数字跳动的情况。那么出现这样的情况的时分，有必要要对平行度和角度进行调整了。
